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全氟醚橡膠

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TRUFLOUREZ-T90(超高純度等級)

透明全氟橡膠

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?硬度( Shore A )為60度


?耐溫性能:-5 ℃~250 ℃


?耐介質(zhì)性能:優(yōu)異的耐腐蝕性,能夠在刻蝕、Plasma等苛刻的環(huán)境中保持橡膠的彈性,最高可在200度的溫度下保持密封性能


?應(yīng)用于PVD、CVD、ETCH、 Chamber等工藝制程


?推薦用于半導(dǎo)體制程,超高潔凈度的腔體內(nèi)